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逆向设计广泛应用于新产品设计制造中，精度研究是其中的研究内容之一。逆向设计的误差主要由原型误差、测量误差、数据处理误差、造型误差和制造误差组成。本文针对基于工业CT逆向设计过程中的误差来源进行精度研究。ICT技术是一种无损测量技术，ICT设备误差主要来自CT系统的各组成部分，影响工业CT图像精度的因素有图像像素、图像层间距。进行数据处理时，在图像二值化和对齐过程中，验证了使用图像增强和边缘检测方法可提高图像质量，且确保精度在像素水平。还可以使用MC算法进行网格重构，验证了通过选择合适阈值并同时使用拉普拉斯平滑和曲率平滑方法结合的方法进行网格平滑处理，也能使精度达到像素水平，且后者精度更高。在曲面造型时，对几种常用的NURBS曲面进行误差分析。通过实验，比较曲线方向、起始点、点云数量对曲面质量的影响。其中，放样曲面的精度影响因素曲线方向最大，起始点次之；边界曲面进行分块拟合可以提高曲面精度；同生成单张曲面相比，曲线和点云拟合以及网格混合生成的曲面质量更高。最后选择上述方法通过多个实例验证，确定了基于工业CT的逆向设计的精度在层间距范围内，对使用者在选择相关方法有一定指导作用。