基于钛扩散制备Ti/LiNbO3波导型光耦合片工艺与光学性能优化

• 作 者: 董鹏展
• 出 处: 哈尔滨理工大学
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: Ti/LiNbO3光耦合片 真空蒸镀工艺 金属内扩散 折射率分布

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