论文部分内容阅读
磁悬浮隔振单元是用于隔振平台的静态承重装置。磁悬浮隔振单元利用电磁力平衡了单元动子及其承载物体的重力,使单元动子悬浮在单元定子的上方,这种非接触的结构在原理上可以使单元会获得极低甚至零的刚度特性,从而具有优越的低频隔振性能;同时具备静态承载力密度大、固有频率低、损耗小、动态响应快、环境适应性强等特点,在精密和超精密加工领域具有广阔的应用前景。仅使用永磁体不使用通电线圈的磁悬浮隔振单元被称为被动磁悬浮隔振单元,本文提出一种低刚度环形Halbach水平气隙被动磁悬浮隔振单元的结构方案,该单元产生悬浮力的