【摘 要】
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过渡族金属碳化物薄膜具有高硬度、高熔点、低摩擦系数、耐磨损、耐腐蚀、抗氧化等优异的物理与化学性能,被广泛的应用到航空航天、汽车工业、机械加工、地质钻探等领域作为表面保护涂层,近年来备受关注。在这些应用中其力学与摩擦学性质决定着薄膜材料在实际应用过程中的使用性能和寿命。虽然陶瓷基薄膜材料具有较高的硬度,但是其韧性较差,这限制了它们的使用范围。因此,设计和制备具有高硬度兼具高韧性的薄膜材料显得十分必要
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过渡族金属碳化物薄膜具有高硬度、高熔点、低摩擦系数、耐磨损、耐腐蚀、抗氧化等优异的物理与化学性能,被广泛的应用到航空航天、汽车工业、机械加工、地质钻探等领域作为表面保护涂层,近年来备受关注。在这些应用中其力学与摩擦学性质决定着薄膜材料在实际应用过程中的使用性能和寿命。虽然陶瓷基薄膜材料具有较高的硬度,但是其韧性较差,这限制了它们的使用范围。因此,设计和制备具有高硬度兼具高韧性的薄膜材料显得十分必要。同时,提高薄膜材料的硬度和韧性也有助于增强薄膜材料的抗磨损能力,延长材料使用寿命。在过渡族金属碳化物中
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