【摘 要】
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薄膜的多层化已成为提高涂层强韧性的重要手段,超硬、强韧和抗高温氧化是先进涂层所必有的性能特征.该文描述了过滤电弧装置的特征和沉积薄膜的过程,提出了过滤电弧放电空间
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薄膜的多层化已成为提高涂层强韧性的重要手段,超硬、强韧和抗高温氧化是先进涂层所必有的性能特征.该文描述了过滤电弧装置的特征和沉积薄膜的过程,提出了过滤电弧放电空间的物理模型,分析了直流叠加脉冲偏压在薄膜沉积中的作用.在直流加脉冲偏压条件下,沉积了TiCrN和TiCrZrN复合薄膜,并进行了表面和断口形貌观察、结合力测试、显微硬度测量和相结构的基本分析,为硬质多层膜的沉积奠定了基础.
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