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MEMS器件因其具有体积小、重量轻、可批量制作、可集成等优点,在现在日常生活中应用越来越广泛。MEMS器件动态参数测量对于其加工和制造有着非常重要的意义,而由于MEMS器件本身的微小尺寸,使得常规测量手段难以应用。随着技术不断进步,动态参数测试方法也越来越多,虽然保证了MEMS器件动态参数的测量精准性,但是其成本过高,难以大规模使用,大大制约了MEMS行业发展,因而需要一种精度高、简单便捷、成本低的谐振频率和振幅测量手段。本文就此开展了基于激光自混合干涉技术的MEMS器件谐振参数测量技术研究。本文首先对常规三镜腔自混合干涉系统进行了分析,建立了理论模型,并给出了不同外部参数对系统的影响。在三镜腔模型的基础上推导了基于预反馈镜的干涉系统,详细分析其理论模型,给出了不同参数对系统性能的影响,获得了优化参数,在此基础上进行了相关预反馈干涉系统测量实验,通过实验验证了预反馈干涉系统的优异性。针对预反馈干涉信号进行解调算法研究,在分析了常规研究算法后,研究了基频极值点算法,并基于预反馈干涉系统理论模型给出了算法模型。在不同参数和环境下分析了算法的解调性能,并通过实验对预反馈干涉系统实际测量信号进行了解调,将解调值和实际值进行了比对,结果表明振动幅值和频率测量精度较高。将锁相技术和三镜腔激光自混合干涉系统相结合,阐述了锁相原理并推导了锁相理论模型,通过Simulink进行了可视化仿真,结果表明锁相技术下,输出信号可以很好的反应外部振动,基于所建立的锁相模型,进行锁相电路板研制。最后搭建了含锁相技术的激光自混合干涉系统,进行了MEMS器件谐振参数测量实验,通过锁定外部振动造成的干涉信号的相位差值,实现相位锁定,通过功率补偿回路补偿注入电流造成的功率变化,以此将MEMS器件的外部振动和锁相电路的输出信号进行关联,实验结果表明,测量系统可以很好的测量MEMS器件振动幅值和频率。