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电容位移传感器作为一种传统非接触式传感器，具有结构简单、响应时间短、分辨率高、适合在线和动态测量等优点，主要用于位移、角度、振动、加速度、压力以及浓度等方面的测量，被广泛用于地球科学、高科技电子、航空航天及工业应用领域。高精度静电加速度计或空间惯性传感器在卫星重力测量、空间科学基础实验如空间等效原理检验以及空间引力波探测中有着非常重要的应用意义，而高精度差分式电容位移传感器是空间静电加速度计或惯性传感器的关键技术之一，其性能如分辨率指标等要求较高。电容位移传感器的灵敏度系数是测量电容位移传感器分辨率指标需要的，同时对于加速度计或惯性传感器闭环系统参数设计以及仿真至关重要，故如何对电容位移传感器进行灵敏度高精度的标定是必须解决的关键问题之一。差分式电容位移传感器灵敏度系数的标定，需要制作一对稳定的可变差分电容器。如果采用传统的平行板电容器构成差分电容对，因为边缘效应，其实际电容值会存在很大的非线性误差，由此标定出的灵敏度系数误差较大，与理论值相差可达到40%～50%，故为了降低标定平台自身在电容位移传感器标定过程中的非线性影响以及减小标定误差，需要采用一定的技术屏蔽边缘效应的影响。目前国内和国际上常用的方法是在平行板电容的外围添加等电位保护环，通过等电位来屏蔽边缘效应。本文主要的研究目标是研制出一套高精度标定平台，首先在理论上对等电位环如何屏蔽平行板电容器的边缘效应进行了详细分析；其次，根据理论分析完成了稳定标准差分电容对（采用等电位环技术）的设计、制作和测试；最后，通过电容计验证平台设计是否与理论一致，并结合本课题组研制的高精度差分式电容位移传感器，完成了其灵敏度的标定。最终得到的标定平台灵敏度为11.96fF/5μm，相对不确定为2%，且实测值在理论范围内，误差满足指标需求且与理论分析基本一致，表明本文研制的高精度标定平台基本满足课题组电容位移传感器灵敏度标定的要求。