离子束辅助沉积二元亚稳合金薄膜的研究

来源 :清华大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fuji2009
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
金属合金很多重要的物理性能,是在非平衡条件下获得的。非平衡技术可以引起固溶度的增加,缺陷密度的显著改变,亚稳晶体结构和非晶相的形成,以及合金显微结构的变化。离子束辅助沉积(IBAD),是二十世纪七十年代末发展起来的一种远离平衡的薄膜制各方法,它是在气相沉积镀膜的同时伴随以一定能量的离子束轰击。 本文使用IBAD方法,研究了若干二元金属系统中非晶和亚稳合金相的形成规律,并对非晶薄膜的力学和电化学性能进行了初步研究。实验中选择三个负生成热系统和一个正生成热进行研究,分别为Ni-Nb(△Hf=-45kJ/mol)、Ni-Mo(△Hf=-11kJ/mol)、Co-Mo(△Hf=-7kJ/mol)和Cu-Mo(△Hf=+28kJ/mol)系统。研究结果表明,对于Ni-Nb、Ni-Mo和Co-Mo三个系统,IBAD方法获得的非晶合金形成范围分别为20-80at.%Ni、30-60at.%Ni和35-60at.%Co。同时,薄膜沉积过程中的离子束轰击也诱导生成了一些亚稳合金相。如Ni-Mo系统中获得的fcc和bcc过饱和固溶体;在Ni80Nb20薄膜中,8keV离子束辅助沉积生成的hcp亚稳晶相等等。在互不固溶的Cu-Mo系统中,利用IBAD方法在很宽的成分范围内实现了两种金属的合金化。当Cu的原子百分含量低于50%时,获得了Mo基的bcc过饱和固溶体,而Mo在Cu中的最大固溶度可达15at.%。文中根据Miedema模型和Alonso提出的计算方法,构建了各系统的Gibbs自由能图,并从热力学和动力学两个方面,对IBAD过程中非晶的形成机制和相演化规律进行讨论,提出了合理的解释。 实验中还利用IBAD在技术上的优势,制备了厚度约为0.5μm的Ni-Nb非晶薄膜,并通过纳米压痕测试和电化学极化测量的方法对其力学和电化学性能进行了研究。实验发现,薄膜的非晶化导致了其硬度和弹性模量的显著下降。非晶薄膜与晶态薄膜之间硬度的显著差异,主要是由于它们在塑性变形过程中具有不同的形变机制;而非晶薄膜弹性模量的下降,则是由于非晶结构中存在更多的自由体积。电化学极化测量的结果表明,在H2SO4和NaOH水溶液中,非晶薄膜的耐腐蚀性都优于对应的晶态多层膜。
其他文献
该论文用磷酸二异辛酯(BEP)、磷酸二丁酯(DUP)、磷酸二乙酯(DEP)以不同OH/环氧基、不同反应时间,在不同反应温度下改性环氧树脂E-20,通过红外光谱法和滴定法得到随改性剂量的
上转换是一种能够将长波低能光子转变为短波高能光子的非线性光学过程。受益于稀土离子丰富的能级结构,人们可借助稀土掺杂方式实现不同波段的上转换发光。近年来,稀土掺杂上转
风送喷雾是联合国粮农组织推荐的一种先进高效的施药技术,风送式喷雾机喷雾作业时,由于气流的作用,靶标的枝叶发生摇摆与翻滚,使得作物的叶背、叶面、内膛、外部都可均匀地覆盖上
施肥是增加土壤养分,改善作物生长发育条件的重要措施。根据农业部公布的数据表明,我国化肥用量约为330kg/hm~2,远高于世界平均水准120kg/hm~2。由于化肥无法对土壤中缺失的
常压液相烧结碳化硅陶瓷与常压固相烧结碳化硅陶瓷、反应烧结碳化硅陶瓷相比,具有高的抗弯强度和断裂韧性,但其致密化过程中存在烧结助剂挥发的问题,这会降低其性能。因此液相烧
随着建筑规模的不断扩大,建筑工程数量激增,建筑施工管理工作的精细化程度也加强了.本文首先从细节、服务、规则、系统、方案几方面分析了5S精细化管理的要点,重点讨论了5S精
随着科学技术的发展,地球上煤炭、石油、天然气等地下资源正面临着枯竭的危险,能源短缺现象日趋严重,与此同时,严重的环境污染也已成为威胁人类生存的主要问题。在这一系列的问题
甘蔗在我国农业经济中占有重要地位,产糖量占我国食糖总量的90%以上,面积占我国糖料作物种植面积的85%以上。我国蔗糖成本高于世界平均水平,缺乏国际市场竞争力,主要原因是甘蔗田间
该文采用发散法,以乙二胺、丙烯酸甲酯为原料合成了0~5.0G聚酰胺-胺树形高分子(PAMAM),利用红外光谱、质谱和核磁共振等方法研究了反应温度和反应时间对Michael加成反应产物
学位