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RF MEMS开关由于其低插损、低功耗、体积小以及易于集成等优异特性而成为了近年来国内外研究的热点。本论文围绕K波段并联电容式MEMS开关的设计而展开,具体做了以下的研究工作：论文首先详细的讨论并联电容式MEMS开关基础理论,包括力学分析和电学分析,为后面的开关设计打下基础。然后,论文重点研究开关介质层、梁宽、信号线与地线上方开关梁结构以及共面波导缺陷地结构对电容式MEMS并联开关的性能的影响,并得出了一些规律。根据这些规律设计两个基于共面波导缺陷地结构的K波段电容式MEMS开关并进