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微齿轮是微机电系统(MEMS)中重要的零部件，其传动性能对微机电系统的整体性能有决定性影响。相对于宏观齿轮而言，由尺度效应引起的表面力将对微齿轮接触产生重要的影响，同时表面效应带来的微齿轮中的摩擦磨损问题显得十分突出。而目前微齿轮的研究主要集中在制造方面，对微齿轮的接触分析研究相对比较少。由于微齿轮的特殊性，不能直接把分析宏观齿轮的理论应用于微齿轮的研究，所以考虑表面力作用下的微齿轮接触分析是非常重要的。将微齿轮轮齿的接触简化为两个圆柱体之间的接触，考虑到在微观尺度下表面粗糙度对粘着力的影响