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随着机器人技术的逐步完善，适于特殊作业的机器人种类也日益增多，其应用领域不断拓展到微电子制造、MEMS封装与组装、高精密机械加工与装配、生物芯片制备、大范围高速扫描检测装备等行业。随之而来的，各行业对机器人的性能指标提出了越来越高的要求，追求机器人的高定位精度、高重复精度、高分辨力，同时还要求其工作范围大、质量轻、能耗低等，从而对机器人结构的设计提出了更高的要求。在这样的前提之下，为满足人类向微小世界探寻的需要，作为机器人技术发展的一个重要分支，微操作机器人成为机器人学中十分活跃的研究领域。 本文结合国家“863”计划项目“6自由度纳米级宏微操作机器人的研究（项目编号2002AA422260）”和“原型装置靶瞄准定位系统工程预先研究项目（项目编号863-804-5）”，共搭建了3套实验系统，其中采用了单一驱动以及双重驱动两条技术方案。在广泛的分析了目前已有的柔性精密定位系统、并联精密定位系统和宏/微双重驱动系统的基础之上，针对目前大范围运动定位与高精度定位的应用实际需要，提出了大行程柔性铰链的概念设计，并以此构建六支链大行程柔性并联结构定位系统，为满足超高精度的定位需要，在并联支链中集成了压电陶瓷驱动，构成了宏/微双重驱动并联结构系统，充分体现了驱动、结构、检测一体化的设计思想。 在结构单元的设计方面，针对当前柔性铰链运动范围小等问题，在通用的球副柔性铰链的基础之上，提出了大行程柔性铰链的概念设计；在柔性并联结构的设计方面，提出了在通用的并联结构系统中，采用大行程柔性铰链代替传统运动副的设想，建立基于大行程柔性铰链的并联结构系统。 在大行程柔性并联结构的运动学建模方面，利用材料力学的基本原理和小变形假设，推导了大行程柔性铰链的数学模型，并给出了在全局坐标系下的显式表达；在此基础之上，通过刚度组集的办法建立了大行程柔性铰链并联结构柔性支链的运动表达式，通过联立运动位移协调方程和力约束协调方程，建立了并联结构的位置解模型。 由于并联结构系统中的各部件，特别是柔性铰链结构在自身变形提供整体结构的运动输出的同时，还经历了大范围的刚体运动，导致大行程柔性并联结构的位置解模型成为典型的几何非线性问题。鉴于此，本文首先推导了空间柔性结构的几何非线性的刚度递推模型，并利用牛顿-莱弗森方法对该模型进行了求解。由于几何非线性模型的迭代求解方式，导致该模型的实时性很差，不易移植至控制系统进行实时控制求解，故在大量的试验尝试的基础之上，选择了BP神经网络方法，建立了3层六输入-六输出的位置解神经网络结构，从而在方便了实时控制编程的同时，还大大提高了系统的位置解的求解速度。 由于柔性并联结构的位置解模型中不仅仅包括结构中的位置信息，还提供了结构中相关的力信息以及刚度信息，本文在上述位置解模型的基础之上，给出了该类系统的刚度模型，并建立了并联结构中的结构参数和尺度参数对系统刚度的影响图谱，对这类系统的结构综合以及优化设计提供了有力的工具。 在大行程柔性并联结构的动力学建模方面，采用了欧拉梁理论和有限元方法，由拉格朗日方程建立了基于实际位移的大行程柔性铰链并联机器人各支链的动力学模型，并通过位移协调方程和动力协调方程，最终得到并联系统的动力学模型。综合采用了纽马克方法和牛顿-莱弗森方法解决了系统动力学求解问题，并通过一个算例进行了基于逆动力学的求解仿真。 在大行程柔性并联结构的样机实验方面，我们提出了采用大行程柔性铰链作为被动关节的6-PSS并联机器人系统，该系统采用压电马达作为驱动器，精密光栅尺作为位置反馈元件，其可在立方厘米级的工作空间内实现微米级精度的运动；在此基础之上，我们在并联机器人的支杆中嵌入压电陶瓷，在压电马达的宏运动结束之后，压电陶瓷可以驱动并联机器人进一步的微调，从而得到一个6-PSS和6-SPS结合宏微双重驱动并联机器人系统，其中，微动系统可在微米级运动空间内实现纳米级的运动精度。基于大行程柔性铰链的宏微双重驱动并联机器人系统，可以同时满足大工作空间和高精度的工程需要。此外，我们将大行程柔性铰链并联机器人系统，成功的应用到激光瞄准靶支撑装置中，其厘米级的运动范围和纳米级的运动分辨力，使其在神光III系统中发挥了十分重要的作用。