基于窄带吸收器的太赫兹超材料传感器研究

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太赫兹波具备低能量、非电离和指纹谱等特性,使得太赫兹光谱技术在无损害检测领域比传统传感技术更具优势。然而,太赫兹光谱技术在传感应用中存在着检测能力弱和效率低等问题,严重阻碍了其广泛应用。随着超材料研究和微纳结构加工技术的不断发展,工作于太赫兹频段的超材料被越来越多地应用于传感领域。太赫兹超材料传感器作为一种无标记的亲和型光学传感器,它能实现对微量物质的高灵敏度检测并且其检测方法简单、高效。窄带吸收器凭借三层结构与电磁波产生强烈的相互作用,能形成局部电磁场增强和高品质因子的极窄频带谐振峰,在传感领域展现出广阔的潜力。基于此,本文提出了基于窄带吸收器的太赫兹超材料传感器研究。本文的主要研究内容如下:1.为解决传统超材料吸收器在传感应用中存在的灵敏度低和不可调谐等问题,本文设计了基于双频带吸收器的太赫兹超材料微流传感器和基于石墨烯吸收器的可调谐太赫兹超材料传感器。微流传感器和石墨烯传感器与太赫兹波相互耦合分别形成双频段和三频段的高吸收幅值谐振峰。通过分析传感器在谐振频率点的电场和表面电流分布情况,探讨了传感器的谐振机理。同时,通过对传感器的等效电路模型和阻抗匹配理论研究,合理解释了传感器的吸收机理。此外,得益于单元结构的四重旋转对称特性,传感器具备极化不敏感特性和宽入射角度不敏感特性,表现出极好的各向同性特点。2.引入微流控技术,微流传感器有效解决了因传统超材料吸收器所产生的局部增强电磁场无法与分析物充分接触而导致灵敏度受限的问题。结果表明,传感器通过集成微流通道,提高了分析物与传感器相互耦合强度。该传感器的灵敏度可达537GHz/RIU,归一化灵敏度可达0.525 RIU-1,品质因子(Quality factor,Q值)可达34.4,品质因数(Figure of Merit,FoM)可达22 RIU-1。相比分析物附着于普通超材料吸收器表面,该微流传感器的最大灵敏度、归一化灵敏度和FoM值分别提升了100%、109%和147%。3.采用石墨烯材料,石墨烯传感器有效解决了因传统超材料吸收器使用金属材料设计而不具备可调谐能力的问题。结果表明,通过改变石墨烯费米能级,传感器能实现可调谐功能,调谐灵敏度可达11.26 THz/eV。同时,加入石墨烯降低了传感器的欧姆损耗,提高了传感器与太赫兹波之间的共振强度,传感器获得了突出的传感性能。传感器可实现的最大灵敏度为3.701 THz/RIU,最大归一化灵敏度为0.635RIU-1,最大Q值为170,最大FoM为169 RIU-1。此外,通过在石墨烯微结构层下方添加介质槽,进一步增大了分析物与局部增强电磁场的接触面积,加强了两者的相互作用,石墨烯传感器的传感性能得到提升。相比于优化前,已优化传感器的最大灵敏度、归一化灵敏度和FoM值分别提升了29%、55%和69%。
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