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近年来,受新兴的大半导体行业的大规模发展,干泵迎来了前所未有的发展机遇。干泵应用的领域在不断的扩大,抽气工艺也越来越复杂,要求也越来越高。本文研究的多级三轴罗茨泵即为干泵的一种。这种泵抽速较二轴式罗茨泵有较大的提升,可直排大气。本文介绍了国内外罗茨泵研究的最新进展,对国外新推出的罗茨泵产品进行了总结分析；详细介绍了单级、多级三轴罗茨干泵的抽气原理,推导了其理论抽速计算公式:计算了本论文设计的三轴罗茨干泵达到稳态时各级的压力,所消耗的功率等重要设计参数,并与二轴式罗茨干泵进行了比较；由润滑、密