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作为经济可持续发展的先导产业，高技术产业不仅体现了先进的科学技术水平和技术创新的能力，而且对促进我国经济可持续发展、调整产业结构也起着重要作用，因此对高技术产业的全要素生产率进行测度，研究其影响因素，找寻提高全要素生产率的途径，具有重要的理论意义和实践意义。 基于DEA的三阶段Malmquist指数模型可以将不同地区的数据置于同一环境水平和随机误差影响下，使研究结论更具说服力。本文运用该方法对2001年至2011年我国27个省市的平均全要素生产率进行了测度，结果显示，重庆全要素生产率增长幅度最大为11.6％，但仍有其他11个省份的Malmquist值小于1，未能实现增长;从区域的角度来看，东部、中部和西部地区在2001年到2011年间的平均全要素生产率均大于1，11年间的平均增长幅度在3％-6％之间，就发展趋势而言中部区域发展较快;三大经济圈的全要素生产率也实现了增长，增长幅度约在6％左右，其中泛珠三角地区的平均全要素生产率最高。 论文在上述研究的基础上，对全要素生产率的影响因素做了进一步的研究。论文从内部影响因素与外部影响因素两个角度，选取高技术企业从业人员数、R&D经费投入、外商企业投资总额、高技术企业数量、技术市场成交金额等因素作为影响因子。结果表明，高技术企业从业人员数、外商企业投资总额和技术市场成交金额对全要素生产率有显著的负影响;高技术企业出口交货值、高技术企业总产值对全要素生产率的影响则是显著为正的;R&D经费和高技术企业数量对全要素生产率的影响不显著为正;科技经费筹款中的政府拨款额对全要素生产率的影响不显著为负。 论文据此从六个方面就提高我国高技术产业的全要素生产率，提出了相应的政策建议。