【摘 要】
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该文主要研究一种MEMS器件--多晶硅热驱动微执行器的工作状态计算机模拟.尽管MEMS近年来得到了广泛的研究,但对于微执行器的关注仍然不如微传感器.该文首先综述了5种常见的热
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该文主要研究一种MEMS器件--多晶硅热驱动微执行器的工作状态计算机模拟.尽管MEMS近年来得到了广泛的研究,但对于微执行器的关注仍然不如微传感器.该文首先综述了5种常见的热驱动微执行器工作原理,并比较了各自的优劣.其中一种--弯曲梁结构--在文中进行了模拟.研究人员建立了结构的温度模型.这个模型综合考虑了传导、对流和辐射等传热效应,因此较从前的模型精确,但方程也复杂一些.用同伦方法将非线性方程离散为一系旬线性方程,可以用来求解这个模型.在得到温度分布的基础上,研究人员采用矩阵位移法计算结构关键节点的位移.矩阵位移法是一种专门用在计算机求解上的结构力学方法,它把杆系的问题离散成一组单个杆的问题,引入适当的相关条件,最终把问题抽象为一个线性方程组.最后一部分讨论软件问题,包括多晶硅热驱动微执行器模拟程序的结构、器件模拟软件的组织以及整个SUMEC MEMS CAD软件的设计构思.
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