【摘 要】
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本文尝试采用微波等离子体对试样进行退火，使单晶硅衬底与溅射沉积的不同金属薄膜发生固相反应，最后得到各种硅化物，包括TiSi2，CoSi2和NiSi2，扩展了微波等离子体加热在硅化物制备
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本文尝试采用微波等离子体对试样进行退火，使单晶硅衬底与溅射沉积的不同金属薄膜发生固相反应，最后得到各种硅化物，包括TiSi2，CoSi2和NiSi2，扩展了微波等离子体加热在硅化物制备上的应用。通过四探针法测量生成薄膜的方块电阻，X射线衍射图谱鉴别生成物相，俄歇能谱探测元素深度分布，可以对硅化物在微波等离子条件下的固相反应形成有初步认识。通过分析实验数据和结果，可以得到微波促进了最终稳态硅化物形成的结论。
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