【摘 要】
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近些年来,对高性能光探测器的研究正成为提高光纤通信系统质量的关键,各种新型光探测器开始进入人们的视野,随着对通信速率和通信质量的要求越来越高,光探测器的发展面临着很
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近些年来,对高性能光探测器的研究正成为提高光纤通信系统质量的关键,各种新型光探测器开始进入人们的视野,随着对通信速率和通信质量的要求越来越高,光探测器的发展面临着很大的发展空间,同时也面临着巨大的挑战。本篇论文围绕高性能光探测器的性能分析及其测试方法进行研究,主要研究工作和研究成果如下:1、回顾了光探测器的发展历程,详细介绍了常用高性能光探测器,并对光探测器的进一步发展做了简单的展望。对衡量光探测器性能的主要参数进行了理论分析,说明了主要参数的物理意义,对如何提高光探测器的性能参数提出了优化方案。2、提出了一种采用楔形波导结构来提高光探测器响应度的优化方案。优化后的光探测器吸收层宽度随着长度增加,使得限制因子逐渐增加,进而提高光探测器响应度,给出理论分析并用有限元法对探测器结构性能进行仿真,在前端耦合为80%的情况下,探测器可以达到0.98A/W的响应度。此外,考虑到吸收层厚度对探测器带宽的影响,对其进行理论分析并针对不同吸收层厚度的探测器带宽进行了仿真分析,当吸收层厚度为100nm,本征层厚度为1.6μm时可以达到约32GHz的带宽。3、用二端口网络模型对光探测器的微波特性进行分析,提出了光探测器散射参量的计算方法,并在此基础上对光探测器的电极进行了分析,在原有的电极结构基础上进行了优化,并使用仿真软件仿真得到最佳微波特性时的衬底厚度为345nm。4、参与搭建了光探测器光谱响应自动测试系统和光探测器频率响应测试系统,分别采用扫频法和光外差法对光探测器的频率响应进行测量,并提出了简要的误差分析模型。
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