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【摘 要】
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20世纪90年代，基于微米/纳米集成电路制作技术的微电子机械加工技术(MEMT)及微机电系统(MEMS)的出现，使具有体积小、重量轻、价格便宜、可靠性高、能大量生产等优点的微机电惯
【机 构】
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北京信息科技大学
【出 处】
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北京信息科技大学
【发表日期】
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2011年期
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