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TiO_2薄膜具有良好的化学稳定性、优异的光学性能和良好的电学性能,并且还具有光催化效能高、无二次污染等特点,因而在电子材料、光学材料以及太阳能电池方面有着广阔的应用前景。TiO_2是宽禁带半导体材料,基于TiO_2磁性半导体的研究将有利于发展集成光、电、磁于一体的器件的开发和研制,近年来逐渐成为人们关注的焦点。本文通过调节磁控溅射参数、金属掺杂制备了系列TiO_2薄膜,并对样品的形貌、结构以及磁性等相关物性进行了研究。基底温度保持在300℃-480℃等不同温度下沉积制备了系列TiO_2薄