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光学元件的亚表面损伤严重影响着光学系统的抗激光损伤阈值和大型光学系统的成像及镀膜质量、系统的长期稳定性,很大程度上制约了能源、军事、航天等高新技术科研领域的发展。因此,对光学元件亚表面损伤的控制成为相关领域一项至关重要的技术。传统光学对亚表面损伤问题的关注极少,随着入射光源能量的不断提升,尤其在高功率激光领域,亚表面裂纹的控制才能越来越受人们的关注。本文研究了基于光的全内反射原理获得光学元件亚表面损伤信息的一种测量方法。首先分析了照明光源的偏振状态对亚表面损伤点的偶极子散射特性,研究了全内反射角的变