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随着技术的发展，对工业应用的准分子激光器指标提出了越来越高的要求。比如半导体集成电路集成度的不断提升，要求用于集成电路光刻光源的准分子激光器满足更大的输出功率和更窄的光谱线宽，常规的单腔结构准分子激光器件在高功率和窄线宽上不能兼顾。双腔结构的振荡—放大(即MOPA)技术被引入以解决输出功率和线宽的矛盾。其基本思想是利用种子腔产生窄线宽种子光，注入放大腔经同步放大后输出大能量脉冲，从而得到窄线宽、大功率的优质激光束。 双腔同步的全固态脉冲激励源是实现高重复率MOPA结构准分子激光器件的关键。本论文对高重复频率双腔同步全固态脉冲激励源的关键技术进行了研究，主要包括高重复率精准谐振充电技术、基于大功率快速半导体器件的快速开关技术、高重复率脉冲升压技术、高重复率磁脉冲压缩技术和双腔同步激励源的硬件抖动控制技术。 将上述单元技术集成，设计并研制出了双腔同步准分子激光器全固态激励源。将该激励电源与激光放电腔联机实验，实现指标输出:重复频率达到4kHz，脉冲电压上升时间约为90ns，放电电压18.2 kV，单腔输出功率达到5.7 kW，两路激励回路的相对抖动小于±5ns，满足MOPA系统的要求。并且该激励源成功激励MOPA结构的准分子激光器，在高重复频率下实现双腔的激光振荡放大输出。