【摘 要】
：
MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems微光机电系统)技术是MEMS领域的一个重要研究方向。基于MOEMS技术的微型光谱仪已经成为光谱分析仪器发展的一个重要方向。本论
论文部分内容阅读
MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems微光机电系统)技术是MEMS领域的一个重要研究方向。基于MOEMS技术的微型光谱仪已经成为光谱分析仪器发展的一个重要方向。本论文面向微型光谱仪的需求,开展了MOEMS光栅光调制器关键技术研究,具有明确的应用背景和科学意义。本论文在分析总结国内外几种典型MOEMS光调器的基础上,提出了一种结构简单、驱动电压低、又具有哈达玛变换功能的MOEMS光栅光调制器,建立了相应的等效模型;研究了光栅光调制器的光、机、电特性;确定了器件结构参数,进行了器件仿真分析,完成了器件的工艺流程设计及加工流片;开发了基于FPGA的器件驱动控制系统,进行了原理器件的参数测试与功能实验验证。主要研究工作是:①在对比分析国内外MOEMS光调制器件工作特点的基础上,针对微小型光谱仪的需求,提出了一种MOEMS光栅光调制器新结构;②阐述了MOEMS光栅光调制器的工作原理,基于标量光学理论进行了MOEMS光栅光调制器的光学特性理论分析,建立了器件的等效机电模型,研究了器件的静态、动态机电特性;③确定了MOEMS光栅光调制器的结构参数,完成了基于曲折梁、分布式电极等结构设计;采用Coventor Ware专业软件对器件进行了有限元仿真;④基于中电24所的加工工艺规范,开展了多晶硅结构工艺流程以及基于Al膜保护的牺牲层释放工艺研究;确定了Al膜结构的光栅光调制器工艺流程并进行了加工流片;⑤开发了基于FPGA的光栅光调制器驱动控制系统,搭建了相应的实验系统,测试了器件的动、静态特性参数;从原理上验证了器件全开关、扫描选通以及哈达玛编码模式的光调制功能。
其他文献
近些年来，中国铁路有限的运能与国内庞大的客货运输需求间的巨大鸿沟，使得中国铁路必须在短时间内实现跨越式发展。既有线路的六次大提速以及高速铁路和客运专线的蓬勃发展，切实
在初中英语新课标中，提出了初中英语教学课堂应是活力氛围的课堂的要求，初中英语教师应改变传统的教学方法，善于创新，用新的教育方法来让学生们灵活的学习英语，以加强学生对于英语
党的十五届六中全会通过的《中共中央关于加强和改进党的作风建设的决定》,把作风建设的历史性任务摆在了全党面前,并明确提出“加强和改进党的作风建设,必须把思想作风建设
通过阅读可帮助人们获取相应的知识，阅读也是人类文明发展中形成的一种信息获取途径，对于人类社会的发展具有重要意义，同时通过阅读可以实现信息的传递，帮助人们构建知识体系。在
农村税费改革以后,我们适应基层组织建设的新形势,立足罗田实际,在全县农村广泛开展党小组建设活动,创新活动载体,充分发挥党员的示范带动作用,鼓励党员带头创业,带领群众创
课堂提问是初中英语课堂中师生间的交流主要机会，英语是一门实用性的语言，在实际应用中范围很广，学生需要在对英语对话的不断交流中，有效的提升自身的口语能力，因此英语交流是英语
通过采用访谈、问卷调查等方法,对西部地区某县中职学校355位农村中职学生的家庭教育状况进行了调查,并走访了45位学生及45位家长,了解农村中职学生的家庭教育现状,探究改进
铁路运输是一个设备庞大而复杂,生产环节多而专业分工细密的现代化运输系统,其运输能力的大小,主要取决于其固定设备的通过能力及活动设备的输送能力之合理匹配,取决于技术设
国际干散货航运市场是完全竞争的市场,在航运市场整体不景气的大环境下,散货船仅仅依靠散货运输已经无法达到利益的最大化,因此许多灵便型散货船在运输散货的同时也运输卷钢
当今，对可持续能源日益增长的需求，导致了对性能优于现有技术获取能源方法的迫切需求。近场热辐射的研究，成为了加速能源收集系统高效输出的一个最具发展前景的方向。在不同温度