【摘 要】
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本文针对非接触激光三角测头式三坐标测量系统进行误差分析，其系统误差来源主要为系统的机构误差，包括X、Z轴滚珠丝杠的传动误差、X、y轴倾角误差、各个轴的垂直度误差以及旋转
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本文针对非接触激光三角测头式三坐标测量系统进行误差分析，其系统误差来源主要为系统的机构误差，包括X、Z轴滚珠丝杠的传动误差、X、y轴倾角误差、各个轴的垂直度误差以及旋转轴的回转误差。
三坐标测量机的误差检测是误差有效补偿的基础，也是关键。本文分别对三坐标测量系统进行综合误差检测和单项误差检测。综合误差检测采用标准件法求得其径向误差，单项误差检测主要是对X、Y轴倾角误差、X、Z轴滚珠丝杠的传动误差、各个轴的垂直度误差以及旋转轴的回转误差采用实验方法、数学方法逐个检测，进而逐个补偿，提高三坐标测量系统精度。
采用软件补偿法对三坐标测量系统的误差进行补偿，分别对三坐标测量系统的各个单项误差建立误差补偿数学模型，编写误差补偿软件。依照原有测量软件，补偿软件采用VisualC++6.0编写，经过测试运行正常。
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