【摘 要】
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“标样气体进样系统”用于分压力质谱计的校准，可配制标样气体并向质谱校准室中进样，是质谱计校准技术的一个重要组成部分。 本文主要对“标样气体进样系统”的性能进行了深
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“标样气体进样系统”用于分压力质谱计的校准，可配制标样气体并向质谱校准室中进样，是质谱计校准技术的一个重要组成部分。
本文主要对“标样气体进样系统”的性能进行了深入系统的研究。由于将标样混合气体引入校准室时，一方面小孔的流导随气体成分、气体流动状态的不同而不同，另一方面抽气泵对不同种类气体的抽速也是不同的，这样会使校准室中混合气体的比例与标样混合气体的比例产生差异，而“标样气体进样系统”采用了独特的双小孔进样，在分子流进样条件下，进样前后气体的成分比例不会改变，保证了分压力质谱计校准的要求。
本文研究了标样气体进样系统配样、进样和校准原理，以及采用单一气体和混合气体、单孔材料进样和多孔材料进样对系统性能进行了研究，给出灵敏度*和相对灵敏度随进样室压力变化的曲线，并对试验结果进行了分析和讨论。通过比较单一气体和混合气体进样，结果发现四极质谱计用单一气体校准的灵敏度*与混合气体校准的灵敏度是不同的，所以用四极质谱计精确测量分压力之前，必须要用相应的气体进行校准。通过比较单孔材料和多孔材料采用单一气体进样，实测结果表明，虽然多孔材料的流导(2.4×10-8m3/s)远大于单孔材料(激光小孔)的流导(6.5×10-9m3/s)，但是多孔材料的分子流范围(小于104Pa)比单孔材料的分子流范围(小于103Pa)宽，这说明多孔材料可以延伸分子流范围。
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