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【摘 要】
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点衍射干涉仪利用极小孔径衍射形成近乎理想的球面波作为测试基准波前。这种干涉仪具有极高的检测精度，可以为高精度光刻投影曝光系统的研制提供技术支持。在实际应用中获得高
【出 处】
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中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）
【发表日期】
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2013年期
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