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为了达到实验室研制的微纳米三坐标测量机(Micro/Nano-CMM)能够实现对微结构三维特征尺寸的高精度测量的目的,本文主要做了如下几项工作:1、解决了微纳米三坐标测量机Z轴的驱动控制方面存在的问题,使Z轴能够灵活、平稳的实现不同模式的直线运动。2、解决了Z轴长度测量传感器线性衍射光栅干涉仪(LDGI)输出信号不稳定的问题,改进了干涉信号的质量,提高了位移解析的分辨率及精度。3、对该坐标测量机使用的接触扫描式探头进行了结构及信号处理方法上的改进,对坐标测量机的探测误差进行了分离和校正,使探头的三维