【摘 要】
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光干涉法与计算机视觉技术相结合的高精度形貌测量需解决干涉图拾取、干涉图的实时处理与判读及量程扩展这三大问题.该文基于光干涉法和图像处理技术,重点对干涉条纹图的处理
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光干涉法与计算机视觉技术相结合的高精度形貌测量需解决干涉图拾取、干涉图的实时处理与判读及量程扩展这三大问题.该文基于光干涉法和图像处理技术,重点对干涉条纹图的处理判读和干涉显微镜的量程扩展进行了研究.该文首先设计了一套表面粗糙度测量的干涉条纹图的分析系统.该文还分析了光干涉法的多种量程扩展方法的原理,在前面所做的干涉条纹图处理和判读系统的基础上提出了干涉显微镜量程扩展的方法并进行了具体的研究.在该文的最后,对干涉条纹图的采集和处理系统进行了不确定度分析,给出了整套系统的扩展不确定度;并对图像处理的结果进行了比对,论证了该文中所采用的图像处理方法的可行性.
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