半导体器件量子效应的流体动力学模拟研究

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本文对半导体器件量子效应的流体动力学模拟进行了研究。文章从单体Schrodinger方程出发,利用矩方法推导出量子流体动力学模型。对一维量子动力学模型的瞬态和稳态特性在共振遂穿二极管上进行了大量的数值模拟。微电子界一般认为在量子器件本身会稳定到稳态解,因而广泛采用稳态模型计算电流-电压曲线,以此减小计算量。通过对比研究,发现当偏压较大时,稳态结果偏离了瞬态模型的渐近解,这是由动态失稳造成的。此时,瞬态模型得到的电流密度就会产生振荡,它们也不会收敛到稳态解。当外加偏压足够大时,在电流-电压曲线上就可以看到明显的差别。因此,量子器件模拟中采用稳态的量子流体动力学模型是不恰当的。
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