【摘 要】
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厚度为微米~纳米量级的电介质固体薄膜是微电子、光电子、MEMS和正在兴起的纳米技术等领域中各种微型器件的重要组件.薄膜导热特性严重影响着器件和系统的运行性能和可靠性.
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厚度为微米~纳米量级的电介质固体薄膜是微电子、光电子、MEMS和正在兴起的纳米技术等领域中各种微型器件的重要组件.薄膜导热特性严重影响着器件和系统的运行性能和可靠性.探求电介质薄膜的热导率和热输运规律,对于器件的热管理和热电耦合优化设计具有重要意义.但对于厚度为100nm以下的薄膜,热导率和实验测试极端困难.在该尺度下,分子动力学(MD)模拟是有效的研究方法.该文将MD模拟理理论分析相结合,对纳米薄膜沿垂直于膜平面方向的晶格热导率进行了研究.
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