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该文研究了MOS器件在高场应力下的退化和应力作用后的驰豫行为,以及应力产生的边缘陷阱性质.
MOS器件超薄氧化层中应力感生陷阱特性的研究
【摘 要】
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该文研究了MOS器件在高场应力下的退化和应力作用后的驰豫行为,以及应力产生的边缘陷阱性质.
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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北京大学
【发表日期】
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1998年期
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