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ZnO作为一种优异的光电功能材料,在众多领域如太阳能电池、发光二极管、气敏传感器等方面有着广泛的应用,又由于具有生物兼容性,在生命科学领域也有着重要的应用。为了满足不同需求,人们利用各种生长方法制备了丰富多彩的ZnO纳米结构。分子束外延(MBE)方法在制备高质量ZnO及其掺杂薄膜材料做了大量的研究工作。一方面,MBE系统处于(超)高真空中,能有效地避免其他杂质对样品的干扰;另一方面,MBE法可以通过精确地调控源材料的蒸发速率和气体流量等条件,进一步地控制纳米材料的生长。本论文主要介绍了利用