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结合扫描加工方法，微细电火花加工成为实现微三维结构的加工的有效途径。本文即以实现微细电火花三维加工为目标，进行微细电火花加工控制系统和相关实验研究。
针对研究室前期设计的加工平台所存在的问题，进行系统改造。在完善软硬件系统基础上，完成基于工控机+RTLinux的微细电火花加工软件数字加工控制系统的设计。硬件上改进数字伺服电机的驱动设计和I/O接口设计使硬件平台稳定可靠；加工控制软件上利用多线程和双缓冲数据传输机制结合的方法，解决大量电极轨迹数据传输的问题，并利用模块化方法设计SoftCNC系统，包括自定义电火花加工NC代码、代码的解译、NC文件加工内核模块的实现以及软插补器的设计与实现。
针对微细电火花加工的特点，在设计的软数控平台上，利用模糊技术对微细电火花加工过程间隙伺服控制。研究了放电状态信号的数字滤波技术和加工状态的识别，并分析了加工过程电极的伺服运动，介绍了伺服系统的模糊控制器实现过程并讨论了参数的自适应调整策略。
利用伺服扫描加工方法，对改造的数控加工平台和设计的伺服系统进行了微细电火花三维加工实验验证，加工出包括圆环槽、长槽、凸半球以及六棱柱等一系列微细尺寸样件。