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本论文展开了去离子水中N型硅微细电火花加工工艺研究。从硅材料的机械物理性能和导电性能出发，从硅材料的抗腐蚀指数、材料的掺杂浓度、材料的掺杂类型以及材料的晶向特性等方面对硅材料的电火花加工性能进行了分析，同时也对去离子水和煤油作为微细电火花加工工作液的主要特性进行了对比分析，为去离子水中N型硅的微细电火花加工提供了理论基础。
对去离子水中的N型硅的微细电火花加工工艺规律进行了实验研究，分别在加工效率、电极损耗和表面粗糙度等方面与煤油工作液中N型硅的加工进行了对比，并且给出了去离子水中微小孔的加工实例。
对基于UG的微细电火花铣削CAD/CAM技术进行了研究，利用UG CAM生成了凹腔与微圆锥复合结构、微型气流传感器单元结构和HIT微三维文字等的数控铣削加工程序，并且在去离子水工作液中进行了加工实现。