【摘 要】
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薄膜力学性能是当今MEMS技术中一个很重要的参数，对于微结构器件的研究和应用有很大的影响。半个多世纪以来，鼓膜实验(Bulge test)测试技术被广泛地运用于薄膜的力学性能测试中。论文期间，本人用数字散斑相关方法(DSCM)对传统的鼓膜实验进行了改进，简化了实验条件和环境，并完成了一系列的验证实验。 论文首先对数字散斑相关方法和薄膜力学性能测试技术分别进行文献调研，了解这两种方法的当今的运
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薄膜力学性能是当今MEMS技术中一个很重要的参数，对于微结构器件的研究和应用有很大的影响。半个多世纪以来，鼓膜实验(Bulge test)测试技术被广泛地运用于薄膜的力学性能测试中。论文期间，本人用数字散斑相关方法(DSCM)对传统的鼓膜实验进行了改进，简化了实验条件和环境，并完成了一系列的验证实验。 论文首先对数字散斑相关方法和薄膜力学性能测试技术分别进行文献调研，了解这两种方法的当今的运用与发展情况。然后根据他们各自的特点与长处，把这两种方法结合起来。设计在薄膜中心
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