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合成孔径雷达测量是近二十年来发展起来的极具潜力的遥感新技术,具有全天候、大范围、高精度监测地表形变的优点,是形变灾害监测领域的一种新的经济的空间对地观测新技术。但是由于时间、空间失相干和大气延迟两大因素的影响,制约了D-InSAR技术的应用。而近些年发展起来的PS-InSAR技术能够间接克服失相关和大气延迟的影响,通过获取时间序列上具有稳定散射特性的PS点,分析时间序列上的相位信息,获取地表的变形信息。本文介绍了InSAR技术的原理,分析了干涉相位的组成,阐述了InSAR高程测量和D-InSAR形变测量的方法,并建立了PS-InSAR的空间差分相位模型,重点分析了影响PS-InSAR精度的因素。为了提高PS点识别的可靠性和准确性,本文采用了相关系数阈值法和振幅离差指数阈值法的双重阈值法,即考虑了永久散射体散射的稳定性,又考虑了其回波信号的高信噪比特性。通过西安地区的17景影像做试验,选取了合理的PS点,证实了双重阈值法识别PS点具有较高的准确性。针对PS-InSAR相位解缠的特点,将LAMBDA方法借鉴应用到PS点的相位解缠中。建立了基于时间序列空间差分相位的函数模型和随机模型,分析了LAMBDA方法解算整周模糊度的过程。对LAMBDA方法解算出来的基线解进行最小二乘平差,获取各个PS点的变形信息,并采用拟准检定法剔除具有粗差的PS点。采用Matlab程序实现了PS-InSAR的处理,利用2003-2007年间的17景数据,通过对所建立的时间序列差分干涉相位图,利用双重阈值法选取PS点,由Delaunay三角网构建基线解算模型,采用LAMBDA方法解缠获取了空间各个PS点的形变量,其中最大沉降量达为-7cm/α。通过与同期GPS和InSAR监测资料的比较,证实了PS-InSAR技术应用于地表形变监测的有效性。本文探索和研究了PS-InSAR技术的理论模型和算法实现,独立开发了一套完整的计算程序,实现了分离形变信息、地形数据误差的目的,将PS-InSAR技术引入到西安地区的地面沉降监测,取得了较好的结果,证实了理论模型和计算程序的正确性。