电子式速度高度传感器研制

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该文首先介绍了速度高度的测量方法,速度测量采用皮托管原理,通过测量空气动压来实现,高度则根据大气压力随高度按一定规律变化的原理来测量.其次,介绍了电子式速度高度传感器的设计与制作技术,采用半导体工艺及硅微机械加工技术制做出压力敏感膜片及测量电桥,利用静电封接技术,无应力封装技术,温度补偿技术,形成低温系数压力元件.再次,介绍了传感器的电磁兼容设计,分析了电磁干扰的传播,耦合途径,抑制方法.通过滤波,屏蔽等措施,使传感器的抗干扰性能得到提高,电磁兼容性基本达到设计要求,通过了要求的试验项目.
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