论文部分内容阅读
摘要：在光学集成应用领域中,基于Talbot effect的光分束器,由于其简单的制备工艺,稳定的光学分束效果,高度的光学集成性,发展成为主要研究的光分束器设备。在对掺杂铌酸锂材料制备的非线性光学器件的检测中,在应用掺杂铌酸锂器件的光电等特性时,需要在掺杂铌酸锂晶体的表面加载电压,调节器件的光电特性。但是,掺杂铌酸锂晶体材料本身,并不导电,无法在掺杂铌酸锂晶体材料表面,形成均匀的电场,对整个晶体材料实现光电特性的调谐。通过在掺杂铌酸锂晶体材料表面,射频磁控溅射透明导电ITO薄膜,可以很好的