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随着我国工业的快速发展，工业废气的排放量逐年增加，致使环境质量日益恶化，人们的健康安全受到威胁，且癌症的发病率逐年升高，因此对工业废气的治理刻不容缓。目前常规工业废气治理方法存在着效率低、二次污染等问题，而等离子体治污具有效率高、成本低、无二次污染等优点，因此逐步的被应用在工业治污上。 本课题主要研究等离子体降解挥发性有机物的控制方法及实验系统。基于对现有的介质阻挡放电电极结构的研究，研制了一款多介质阻挡放电结构的等离子体发生器，用于工业废气的治理。本文针对该电极结构在实验中的不足，对其进行改进设计。此外，还对等离子体发生器的电源与等离子体的放电特性之间的关系进行了研究，并设计了高频高压交流电源电路和工频正弦波交流电源供电电路。最后，本文构建了一套实验系统，用于分析等离子体发生器对挥发性有机物及颗粒物的降解率。 本系统采用两套传感器分别放置于等离子体发生器的入风口和出风口以采集处理前后的挥发性有机物浓度，并将该数据通过数据采集卡传输到上位机，进行实验比对及实时监测。通过改变等离子体发生器的结构参数，即介质材料、气隙间距、极板面积，分别观察其对挥发性有机物降解率的影响。实验表明，等离子体发生器的不同结构参数对其放电特性有不同程度的影响，使得等离子体对污染物的降解率明显不同。因此，优化等离子体结构具有一定的指导意义。