【摘 要】
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本文的目的就是研究金刚石薄膜生长速率和生长条件的关系，寻找金刚石薄膜快速生长的途径。 本研究采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在YG8硬质合金(WC-8﹪Co)和铜衬底上沉
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本文的目的就是研究金刚石薄膜生长速率和生长条件的关系，寻找金刚石薄膜快速生长的途径。
本研究采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在YG8硬质合金(WC-8﹪Co)和铜衬底上沉积了金刚石薄膜。通过SEM、Raman散射光谱分析，系统研究了在不同的衬底温度下，金刚石薄膜在不同衬底上的生长情况，得到了如下结论：
研究在WC和Cu衬底上制备了质量较好的金刚石薄膜。研究在WC上沉积金刚石薄膜的过程中引入铜蒸汽，发现铜蒸汽的存在对于金刚石薄膜的生长并没有促进作用。Cu衬底上金刚石生长速率随温度变化的关系说明，金刚石是可以在高温下生长的，并且金刚石薄膜的生长速率随着衬底温度的提高呈现不断上升趋势，没有出现其他衬底材料上的最大生长速率的现象。
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