【摘 要】
：
本文主要阐述三点内容:1、设计搭建ICP放电线圈以在特定的真空室内产生高密度可持续的等离子体;2、在该等离子体环境中创新性地以射频电场的方式给基底加指定的直流偏压，以对
论文部分内容阅读
本文主要阐述三点内容:1、设计搭建ICP放电线圈以在特定的真空室内产生高密度可持续的等离子体;2、在该等离子体环境中创新性地以射频电场的方式给基底加指定的直流偏压，以对其表面蒸镀的绝缘物质薄膜进行离子注入，在本文中是对C60层实现氮离子的注入，注入能量是20eV;3、使用两种不同的频率对绝缘膜加偏压，在真空室外的匹配网络里观察偏压曲线的变化，以此判断绝缘层膜厚的变化。 在等离子体材料处理中经常使用感性、容性两种放电模式，有时也使用两种不同的频率。在本文中采用感性放电来产生高密度的等离子体，而用容性放电的原理来给基片表面的绝缘膜加直流偏压以实现离子注入。膜厚增加造成膜电容变化，由于和匹配电容的分压作用而造成偏压曲线的变化，通过测量这一变化的曲线可以得到膜厚变化的信息。偏压曲线除与膜厚增长有关外，也与偏压电源的频率有关，频率越小，曲线上升越快。 第一章为概述，介绍鞘层及材料处理等基本概念。第二及第三章介绍容性及感性放电的原理。第四章介绍实验背景，即他人加直流电压或单纯容性放电的方法进行离子注入的实验。第五章即本文的实验方案，创新性提出以感性放电产生等离子体，同时对基片施加射频场以产生直流偏压来加速离子。第六章描述了由于膜电容的变化造成偏压曲线的变化，通过测量曲线上升来动态判断膜厚增长的方法。其中包括使用不同频率以得到两条上升速度不同的曲线;制作一个可调电容模块以预先采得模拟的曲线等。
其他文献
In203是一种非常重要的透明宽带隙的半导体材料,其直接带隙为3.55-3.75电子伏特(eV)。由于其特殊的电学、化学以及光学特性,In203成为生物传感、化学传感、太阳能电池、光催化、平板显示和光电子等领域的备选材料,从而受到了半导体科学研究界的广泛关注。本文采用V-L-S生长机制,利用气相输运沉积法(CVD法),以金属Au作为催化剂,通过改变不同的生长条件,在一定程度上实现了对In203形貌
山西焦煤集团公司组建于2001年,是全国煤炭行业第一家以资产为纽带、实行紧密型母子公司体制的大型企业集团,是全国最大的炼焦煤生产基地。共有96个党委,253个党总支,2290个
古代大教育家孟子说:“君子深造以道,欲其自得之也。自得之,则居之安;居之安,则资之深;资之深,则取之左右逢其源,故君子欲其自得之也。”《基础教育课程改革纲要》也明确提出
11月12～14日,原地矿部部长宋瑞祥在辽宁、湖南局金刚石专家的陪同下来到美丽的黔东南,考察贵州金刚石找矿工作。他这次到贵州来,就是让贵州的金刚石找矿工作不断线,希望贵州新
金属铝、镁及其合金,性能优良、应用广泛,但其硬度低、耐磨损性和耐腐蚀性差,极易发生磨损腐蚀和化学腐蚀。因此,对它们进行表面处理以提高其性能非常重要。常用的表面处理有
磁性半导体兼备常规半导体电子学材料与磁电子学材料的优点,被认为是21世纪非常重要的电子学材料,引起了科研工作者巨大的研究兴趣。在磁性半导体中,氧化物稀磁半导体因其具
从相关部门获悉,截至12月26日凌晨,同煤集团煤炭产量超过1亿t。截至2010年12月25日18时,山西焦煤集团煤炭产量完成1.0029亿t。至此,煤炭大省山西出现了两个产量过亿t的大型煤
在现代社会中,作文是人们思想交流和社会交际的重要手段,同时也是进行知识和情感表达的重要的书面形式。作文一直都被认为是语文教学难点知识。本文主要结合教学实践,就初中
很多地方,教师讲、学生听,笔记记满一大本,这是高中英语课堂教学的主要形式。学生成了语言知识的一个被动接受者,不少学生失去学习英语的信心,学生运用英语的能力得不到提高
课堂教学是一个极其复杂而又动态的过程。教师面对的是活生生的人,学生的思维发展、情感交流等情况,教师不可能完全预见到。所以,在一定条件下可能会出现一些始料未及的偶发