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铀材料部件的腐蚀是一个较为严重的问题，为了提铀材料部件的表面抗腐蚀能力，人们越来越多的关注表面改性问题。各种表面改性技术逐步发展起来，各种抗腐材料也不断出现，其中非平衡磁控溅射技术是近期比较常采用的一种制膜技术，ZrN是一种较具吸引力的抗腐材料。 本文探讨了制备ZrN薄膜的微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射沉积工艺。 对微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射沉积工艺制备的薄膜，采用电子探针、EDX、AEX、XRD、SEM进行成分及微观结构分