硬质合金上Cu/Ti过渡层对金刚石薄膜沉积的影响

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金刚石薄膜有许多优异的性质,存在着广阔的工业应用前景.但在金刚石薄膜的应用中,存在着一些相关的技术或经济困难:如金刚石薄膜与基体的附着较差,产品的成本过高等问题.硬质合金刀具中Co的存在,在化学气相沉积金刚石薄膜的过程中容易在界面层形成石墨从而限制金刚石的形核密度,降低金刚石薄膜的质量及附着力.界面过渡层对于减少界面物理性质的突变,缓和应力集中,提高结合强度和维持界面力学稳定性有重要作用.本论文就硬质合金采用Cu/Ti作过渡层沉积金刚石薄膜及其附着力进行了详细的讨论.
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