【摘 要】
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位相物体的测量与成像是光学领域的一个重要研究课题,生物、医学还是工业生产过程中,位相物体测量与成像技术都发挥着重要的作用。传统的位相物体成像技术,已经有很长的发展历史
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位相物体的测量与成像是光学领域的一个重要研究课题,生物、医学还是工业生产过程中,位相物体测量与成像技术都发挥着重要的作用。传统的位相物体成像技术,已经有很长的发展历史。随着显微测量技术的发展,部分成熟的技术也已产业化。但传统成像技术都只是停留在相位对比度和成像效果上,对于定量精度测量则发展缓慢,因此应用受到很大的限制。
针对上述的不足,课题组提出了一种位相物体测量与成像的新技术[1]--位相物体干涉测量与扫描成像技术,不但能实现对位相进行定量测量,而且能对位相物体进行成像,图像显示有多种形式,如伪彩图、灰度图和三维立体图形等。
本论文在原有的位相物体测量与成像实验系统基础上,对原有的图像反演相位算法进行了改进、提出了极值间距算法,同时改进了原有的杨氏干涉成像部分,对改进后的部分进行了对比试验,并对其进行分析,得到了有意义的结果。主要完成的工作及取得成果如下:
一、对原有的图像反演相位算法进行了改进,提出极值间距算法,在精度略有提高的基础上,明显的减少了系统的计算时间。
二、采用Visual C++6.0软件编写,将图像采集和图像反演相位算法进行整合,实现系统的全自动化。
三、改进了杨氏干涉系统部分,使在精度不变的基础上,明显的缩短了系统的尺寸,增加了系统的稳定性,便于系统的集成化和产品化。
四、对改进后的系统进行了多方面的对比实验并进行了理论分析。
五、通过不同波长激光器的实验,再次验证了系统的有效性,通过旋转测量的方法,显示了相位物体测量与成像系统的未来前景。
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