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【摘 要】
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近年来，随着信息技术的迅速发展，半导体微电子器件工艺水平不断提高，其体积不断缩小和芯片集成度不断提高，传统的技术正面临着一系列包括基本物理规律、材料、工艺技术、器件、电
【机 构】
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中国科学院大学
【出 处】
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中国科学院大学
【发表日期】
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2016年期
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