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随着互联网、物联网等其他电子信息技术的发展,是人类迈进了一个信息量呈爆炸式增长的信息时代。光子作为信息的载体,使得半导体光电子器件,尤其是半导体激光器的重要性尤为突出。由于半导体激光器具有效率高、体积小、重量轻、寿命长、易集成等特点,使得其广泛应用于测距、照明、印刷、材料处理、机械加工、军事、空间激光通信系统和生物医学等方面。 近年来,半导体激光器的研究主要集中在高功率输出、特定模式的选择和双光束激光器等方面。本论文主要对980nm系列的高功率半导体激光器、锁模半导体激光器以及布拉格反射波导半导体激光器进行了研究。本论文主要的研究工作包括: (1)在原有半导体激光器工艺的基础上完善4mm腔长的半导体激光器工艺,在连续电流下测试,能实现高功率的稳定输出。 (2)根据锁模半导体激光器的原理,制备了10μm条宽的锁模半导体激光器,实现了较高的脉冲重复频率,并且在特定电流下能实现较大的平均输出功率和最大峰值功率。 (3)利用现有的半导体激光器工艺制备了980nm的布拉格反射波导双光束边发射半导体激光器,100μm条宽的器件能在垂直方向实现了两个稳定的对称的近圆形光斑,对这一现象进行了理论分析。然后对器件进行镀膜后进行测试,可在连续工作条件和脉冲工作条件下实现较高功率的输出。