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【摘 要】
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SOI光波导器件是硅基光通讯领域的核心部件，其高性能以及大规模集成一直以来都是国际同行追逐的研究热点。特别是20世纪末，随着微纳加工技术领域的不断革新，微小尺寸光波导器件
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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中国科学院半导体研究所
【发表日期】
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2008年期
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