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本文采用水溶液生长两步法,以硝酸锌和氨水为生长溶液前驱体,通过衬底表面晶种层的外延生长方式,溶液的过饱和度为生长主要驱动力,制备了高度取向一致的六方纤锌矿氧化锌(ZnO)纳米级/微米级棒晶阵列薄膜,研究了水溶液中ZnO棒晶薄膜的生长机理,并基于该机理实现了多种微观形貌ZnO薄膜的制备,对其结构及形貌形成的影响因素进行系统的分析。通过XRD、SEM、TEM、SAED、HRTEM等方法分析和表征了制得的ZnO薄膜的物相组成、结晶形貌和组织结构等。实验发现在氨水体系中,由于氨络合Zn~(2+)对