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【摘 要】
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氮化硅薄膜具有良好的电介质性能、突出的绝缘性以及抗氧化能力。随着社会及技术的发展，氮化硅薄膜在微电子、太阳能电池行业、半导体企业应用越来越广泛。近几年来，氮化硅薄膜
【出 处】
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上海师范大学
【发表日期】
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2012年期
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