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工业及农业的迅猛发展给社会经济带来快速提升的同时也对环境造成了严重污染。人们日常生活及身体健康因环境的日益恶化受到了影响。为了保证人们的正常生活和身体健康,首要任务就是对环境的检测和治理。大气的采样检测是环境检测的重要组成部分。传统的大气采样工具使用金属容器,当采集低浓度酸性气体样品时,由于气体中酸性物质对金属产生的腐蚀性及吸附性,造成痕量气体的检测数据出现较大偏差,对检测结果造成影响。有必要研究一种表面处理工艺对金属表面进行进一步完善。提高金属表面的耐腐蚀性及降低吸附性,降低采样工具因素对大气成分测试结果造成的误差。提高数据的精确性和有效性。本课题运用化学气相沉积技术在金属表面制备硅薄膜。该薄膜主要是由热稳定性和化学稳定性良好的硅组成。使用该技术可改善金属材质大气收集器性能,致密的膜结构将大气样品与金属容器隔离开来,避免了样品对容器的腐蚀,有效地保护了大气采样工具。和普通的大气采样工具相比,表面镀有该硅薄膜的采样工具主要有以下优点:降低活泼大气成分对自身的腐蚀;对采集的大气样本保存时间更长,回收率更好;钝化层使用寿命长。同时运用该技术也可以用于玻璃、陶瓷等不同材质的衬底镀膜。本论文主要包括以下两个内容:1、以硅烷为原料,以不锈钢板为衬底,利用化学气相沉积技术沉积得到一层光滑致密的硅薄膜。通过对硅烷浓度、沉积温度和沉积时间等条件的调节来改善硅薄膜的物理及化学性能。并对其进行了EDS能谱分析、抗酸腐蚀、电化学分析、表面接触角分析以及扫描电镜分析等表征。结果表明,当硅烷浓度为1.0×104Pa、沉积温度达到390℃、沉积时间持续8h时,化学气相沉积形成的硅薄膜具有良好的物理性能和化学稳定性。该薄膜表面光滑致密,具有长期性防酸腐蚀性能。2以硅烷为原料,以玻璃为衬底,利用化学气相沉积技术沉积得到一层光滑致密的硅薄膜。并对其进行了抗酸腐蚀、表面附着力、表面接触角分析、拉曼光谱分析、X射线能谱分析、紫外-可见光吸收等表征。结果表明,硅烷的化学气相沉积形成的硅薄膜对玻璃在防酸性腐蚀性能,疏水性能以及光学性能等方面都有所改善,在工业生产及建筑行业中具有良好的应用前景。