化学气相沉积硅薄膜的制备与研究

来源 :大连工业大学 | 被引量 : 6次 | 上传用户:woshimaizi
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
工业及农业的迅猛发展给社会经济带来快速提升的同时也对环境造成了严重污染。人们日常生活及身体健康因环境的日益恶化受到了影响。为了保证人们的正常生活和身体健康,首要任务就是对环境的检测和治理。大气的采样检测是环境检测的重要组成部分。传统的大气采样工具使用金属容器,当采集低浓度酸性气体样品时,由于气体中酸性物质对金属产生的腐蚀性及吸附性,造成痕量气体的检测数据出现较大偏差,对检测结果造成影响。有必要研究一种表面处理工艺对金属表面进行进一步完善。提高金属表面的耐腐蚀性及降低吸附性,降低采样工具因素对大气成分测试结果造成的误差。提高数据的精确性和有效性。本课题运用化学气相沉积技术在金属表面制备硅薄膜。该薄膜主要是由热稳定性和化学稳定性良好的硅组成。使用该技术可改善金属材质大气收集器性能,致密的膜结构将大气样品与金属容器隔离开来,避免了样品对容器的腐蚀,有效地保护了大气采样工具。和普通的大气采样工具相比,表面镀有该硅薄膜的采样工具主要有以下优点:降低活泼大气成分对自身的腐蚀;对采集的大气样本保存时间更长,回收率更好;钝化层使用寿命长。同时运用该技术也可以用于玻璃、陶瓷等不同材质的衬底镀膜。本论文主要包括以下两个内容:1、以硅烷为原料,以不锈钢板为衬底,利用化学气相沉积技术沉积得到一层光滑致密的硅薄膜。通过对硅烷浓度、沉积温度和沉积时间等条件的调节来改善硅薄膜的物理及化学性能。并对其进行了EDS能谱分析、抗酸腐蚀、电化学分析、表面接触角分析以及扫描电镜分析等表征。结果表明,当硅烷浓度为1.0×104Pa、沉积温度达到390℃、沉积时间持续8h时,化学气相沉积形成的硅薄膜具有良好的物理性能和化学稳定性。该薄膜表面光滑致密,具有长期性防酸腐蚀性能。2以硅烷为原料,以玻璃为衬底,利用化学气相沉积技术沉积得到一层光滑致密的硅薄膜。并对其进行了抗酸腐蚀、表面附着力、表面接触角分析、拉曼光谱分析、X射线能谱分析、紫外-可见光吸收等表征。结果表明,硅烷的化学气相沉积形成的硅薄膜对玻璃在防酸性腐蚀性能,疏水性能以及光学性能等方面都有所改善,在工业生产及建筑行业中具有良好的应用前景。
其他文献
近年来,话语分析已成为中外语言学家研究的热点问题,尤其是课堂话语分析已在语言学及教育学领域成为热点研究问题。韩礼德的系统功能语法理论为英语教师提供了很多帮助,并已
策略一:丰富主体,推行“合力式“批改我们认为,在待进生数学作业的批改中,只有教师、学生和家长的共同配合,尤其是调动待进生的积极性,才能真正达到完成作业和批改作业的目的。
论布吕宁和他的“总统内阁”陈晓春关键词魏玛德国,布吕宁,总统内阁魏玛共和国,这个德国历史上议会民主制的首次尝试,只经历了短短的14个年头便寿终正寝了。这一民主制度过早夭折的
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
遥感和地理信息系统技术的发展为研究区域生态环境变化提供了有效的手段。针对红壤丘陵区这一特定区域,在地理信息系统的支持下,建立了红壤丘陵区环境信息系统数据库;同时结
1.头韵含义面面观头韵的英语原名为aliteration,学界不少人误以为只是开首辅音的重复。(谢祖钧,第31页)但是实际上,公认为最权威的12卷本TheOxfordEng-lishDictionary的定义是:①Thecommencingoftwo...