【摘 要】
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现代制造技术对加工要求日益提高的同时，也给测量技术提出了新的要求。随之产生的CNC齿轮测量中心是一种高精度、高效率的坐标测量仪。国外生产的CNC齿轮测量中心产品比较成熟
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现代制造技术对加工要求日益提高的同时，也给测量技术提出了新的要求。随之产生的CNC齿轮测量中心是一种高精度、高效率的坐标测量仪。国外生产的CNC齿轮测量中心产品比较成熟，精度高、性能稳定，能实现多维测量，但价格昂贵。国内生产的CNC齿轮测量中心存在测量电路工作可靠性不高、高精度量程范围小、多数只能进行一维测量等问题，与国外先进水平存在一定的差距。
本文为该院新研制的CNC齿轮测量中心三维测头进行了数据通道(包括传感器和测量电路)的设计。为了改善上面提到的测量电路缺陷，文中对电感式传感器进行了性能分析，对测量电路的放大电路、A/D转换电路、移相电路、滤波电路、相敏检波电路、CAMAC接口电路等进行了多方面分析对比，进行了针对性设计。在电路的制作与调试方面，从电路的合理布局与布线、电子元器件的选择与安装、电路的实验调试等方面做了大量的工作，使包括传感器在内的整个数据通道的工作可靠性、测量精度得到进一步的提高。
文中通过一系列的静态测试实验，对整个系统(包括传感器和整体电路)的性能进行了检验和评定。通过相应的实验测得系统线性度为0.9％，灵敏度为5mV/u m，分辨率优于50nm，重复精度约为0.13％；利用虚拟仪器做了线性度对比及输入信号频谱分析实验，其中线性度对比实验的结果表明本系统具有较高的测量线性度；输入信号频谱分析实验确定了输入模拟信号的主要干扰信号的频率范围，为进一步改善电路性能指明了方向。本文通过对CNC齿轮测量中心三维测头数据通道的多项改进，为其成为一个通用化、仪器化、商品化的产品打下了基础。
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